离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料▓的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入※至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯①片制造设备。

当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制ω　程。据介绍，电科装备连○续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流∏、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局▆，实现了28纳米工艺制程△全覆盖，切实保障国产芯片生产制造。

新华社№报道称，电科装备已→具备从产品设计到量产应用的完整研制体↑系，产品涵盖逻辑器件、存储器件、功率器件、传感器等工艺器件，百台设备广泛应用于国内各大集成电路⊙先进产线，累计流片2000万片，有力提升我国产业链供应链韧性和安全水平。